1.EDS與XPS的相同點(diǎn)：兩者均可以用于元素的定性和定量檢測。

　　2.EDS與XPS的不同點(diǎn)：

　　1)基本原理不一樣:簡單來說，XPS是用X射線打出電子，檢測的是電子；EDS則是用電子打出X射線，檢測的是X射線。

　　2)EDS只能檢測元素的組成與含量，不能測定元素的價態(tài)，且EDX的檢測限較高（含量＞2%），即其靈敏度較低。而XPS既可以測定表面元素和含量，又可以測定表其價態(tài)。XPS的靈敏度更高，*低檢測濃度＞0.１％。

　　3)用法不一樣：EDS常與SEM，TEM聯(lián)用，可以對樣品進(jìn)行點(diǎn)掃，線掃，面掃等，能夠比較方便地知道樣品的表面（和SEM聯(lián)用）或者體相（和TEM聯(lián)用）的元素分布情況；而XPS則一般獨(dú)立使用，對樣品表面信息進(jìn)行檢測，可以判定元素的組成，化學(xué)態(tài)，分子結(jié)構(gòu)信息等。